[发明专利]冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统及方法

摘要

公开了一种冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统及方法，所述系统包括石墨烯制备机构与量值保证机构，石墨烯制备机构包括主腔体；真空测控单元，测量真空度；温度测控单元，测量温度；液体流量测控单元，测量循环冷却液流量；气体流量测控单元，测量气体流量；量值保证机构包括量值保证单元与控制处理单元，量值保证单元包括参考热电偶、参考真空传感器与测量热电偶、测量真空传感器并联连接，参考气体流量计、参考液体流量计与气体流量计、液体流量计串联连接；控制处理单元与上述部件通信连接，控制上述部件的工作。本发明在冷壁CVD法制备石墨烯过程中，实现工艺参数量值保证，确保不同批次制备石墨烯质量的稳定。

主权项

一种冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，包括石墨烯制备机构与量值保证机构，其中，所述石墨烯制备机构包括主腔体、真空测控单元、温度测控单元、液体流量测控单元、气体流量测控单元，所述量值保证机构包括量值保证单元、控制处理单元，其中：真空测控单元，包括测量真空传感器，用于测量所述主腔体内的测量真空度；温度测控单元，包括测量热电偶，用于测量所述主腔体内的测量温度；液体流量测控单元，包括液体流量计，用于测量所述主腔体外的测量循环冷却液流量；气体流量测控单元，包括气体流量计，用于测量进入所述主腔体内的测量气体流量；量值保证单元，包括参考热电偶、参考真空传感器、参考气体流量计、参考液体流量计，分别获取参考温度、参考真空度、参考气体流量、参考循环冷却液流量，其中，所述参考热电偶、所述参考真空传感器分别与对应的测量热电偶、测量真空传感器并联连接，所述参考气体流量计、所述参考液体流量计分别与对应的气体流量计、液体流量计串联连接，所述量值保证单元对所获取的各参考值和各测量值进行量值准确性判定，确保石墨烯材料制备过程参数的量值准确；控制处理单元，与所述真空测控单元、所述温度测控单元、所述液体流量测控单元、所述气体流量测控单元、所述量值保证单元通信连接，控制处理单元对上述单元进行准确控制的同时，采集经量值保证单元判定后的工艺过程测量值，再次对上述单元进行闭环控制。