[发明专利]水平双驱动型精密压电粘滑直线装置及其驱动方法有效
申请号: | 201810081801.3 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN108134536B | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 程廷海;杨伟雄;唐晚静;卢晓晖;乔永禄;曹展豪;贾荣 | 申请(专利权)人: | 长春工业大学 |
主分类号: | H02N2/04 | 分类号: | H02N2/04;H02N2/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130012 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种水平双驱动型精密压电粘滑直线装置及其驱动方法,以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短、精度低等技术问题。本发明由斜拉式水平定子、动子、底座、位移调节器、燕尾平台和燕尾平台限位条组成。所述斜拉式水平定子通过产生侧向位移,调整其与动子之间的接触正压力,以实现对摩擦力的综合调控;同时,本发明通过不同非对称电信号组合激励斜拉式水平定子,可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明具有输出推力大、精度高、行程大等特点,在光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 水平 驱动 精密 压电 直线 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种水平双驱动型精密压电粘滑直线装置,其特征在于:该水平双驱动型精密压电粘滑直线装置包括斜拉式水平定子(1)、动子(2)、底座(3)、位移调节器(4)、燕尾平台(5)和燕尾平台限位条(6);其中,所述两个以压电叠堆(1‑1)为驱动元件的斜拉式水平定子(1)并联固定在底座(3)上,所述动子(2)安装在燕尾平台(5)前端部,所述位移调节器(4)安装在底座(3)后端部,所述燕尾平台(5)安装在底座(3)上且限定在燕尾平台限位条(6)内,所述燕尾平台限位条(6)固定在底座(3)上。
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