[发明专利]一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置有效
| 申请号： | 201810076304.4 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108279509B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 任冬梅;兰一兵;朱振宇;段小艳 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30;G01J3/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种快速调整法布里‑珀罗干涉仪的方法及装置，属于光学技术领域。在组成平凹腔法布里‑珀罗干涉仪的平面反射镜边缘加工一部分未镀反射膜区域，以解决因为法布里‑珀罗腔透射率低所造成的调整过程中反射光斑和干涉条纹不易观察的问题，通过引入一块过渡参考镜，使其分别与凹面反射镜和平面反射镜相对准，实现了平凹腔法布里‑珀罗干涉仪两块反射镜的对准调整。本发明装置由激光器、聚光镜、光阑、准直镜、分光镜、透镜、观察屏、平面反射镜、过渡参考镜和凹面反射镜组成，本发明方法能够提高平凹腔法布里‑珀罗干涉仪的调整精度和调整速度，在应用法布里‑珀罗干涉仪的精密测量系统装调中有实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 调整 法布里 干涉仪 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种快速调整法布里‑珀罗干涉仪的方法，其特征在于：在组成法布里‑珀罗腔的平面反射镜(8)的边缘加工一部分未镀反射膜区域；同时引入一块过渡参考镜(9)，在调整平凹腔法布里‑珀罗干涉仪时，首先调整过渡参考镜(9)，使过渡参考镜(9)与凹面反射镜(10)对准，然后调整平面反射镜(8)，使平面反射镜(8)与过渡参考镜(9)对准，从而实现平面反射镜(8)与凹面反射镜(10)的对准。
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