[发明专利]一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置

权利要求书

1.一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法，其特征在于：在组成法布里-珀罗腔的平面反射镜(8)的边缘加工一部分未镀反射膜区域；同时引入一块过渡参考镜(9)，过渡参考镜(9)为一环形的平面反射镜，在调整平凹腔法布里-珀罗干涉仪时，首先调整过渡参考镜(9)，使过渡参考镜(9)与凹面反射镜(10)对准，然后调整平面反射镜(8)，使平面反射镜(8)与过渡参考镜(9)对准，从而实现平面反射镜(8)与凹面反射镜(10)的对准。

2.一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的装置，其特征在于：包括：激光器(1)、聚光镜(2)、光阑(3)、准直镜(4)、分光镜(5)、透镜(6)、观察屏(7)、平面反射镜(8)、过渡参考镜(9)和凹面反射镜(10)；

平面反射镜(8)和凹面反射镜(10)同光轴，组成平凹腔法布里-珀罗干涉仪；凹面反射镜(10)前放置过渡参考镜(9)，过渡参考镜(9)为一环形的平面反射镜；激光器(1)发出的光束，经过聚光镜(2)汇聚在光阑(3)处，然后经准直镜(4)后形成一束扩大的平行光束，该光束透过分光镜(5)射向法布里-珀罗腔；反射光被分光镜(5)反射，经过透镜(6)，射向观察屏(7)。

3.如权利要求2所述的一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的装置，其特征在于：调整方法具体步骤如下：

步骤1：利用激光器(1)、聚光镜(2)、光阑(3)和准直镜(4)组成激光扩束系统；使从激光器(1)发出的光束，经过聚光镜(2)汇聚在光阑(3)处，然后经准直镜(4)后形成一束扩大的平行光束，该光束透过分光镜(5)射向法布里-珀罗腔；

步骤2：安装凹面反射镜(10)，用平行激光束垂直照射凹面反射镜(10)，沿光轴观察反射光斑，调整激光扩束系统方位，使光轴与凹面反射镜(10)的轴线相重合；

步骤3：在凹面反射镜(10)前放置过渡参考镜(9)，激光束的外围部分被过渡参考镜(9)反射，两束反射光被分光镜(5)反射，经过透镜(6)射向观察屏(7)；前后移动观察屏(7)观察两反射镜的反射光斑，调整过渡参考镜(9)方位，使其反射面与光轴方向垂直；

步骤4：安装平面反射镜(8)，激光束的中间圆形部分被该反射镜的镀反射膜区(11)反射，边缘环形部分通过该反射镜的未镀反射膜区(12)，被过渡参考镜(9)反射；在观察屏(7)上观察反射光斑，调整平面反射镜(8)，首先使其反射光斑与过渡参考镜(9)的反射光斑对正，然后，观察环形区域的干涉条纹，继续调整平面反射镜(8)，拉宽干涉条纹，使平面反射镜(8)与过渡参考镜(9)的反射面相平行；

步骤5：观察法布里-珀罗干涉仪的多光束干涉信号，对法布里-珀罗腔进行精确调整；经过步骤1至步骤4，组成法布里-珀罗腔的平面反射镜(8)和凹面反射镜(10)的轴线已基本平行，最后，通过观察干涉信号，进一步对法布里-珀罗腔进行精调，直到获得平行的干涉信号。