[发明专利]一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块

摘要

本发明涉及一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块，该检测模块包括进气管，进气电磁阀，气体室，压力检测器，质谱分析仪，计算机，真空泵，真空管道电磁阀，卤素气体处理器，惰性气体管道和惰性气体电磁阀。并通过该检测模块实现了准分子激光器放电腔钝化过程气体或者激光器在钝化/运行过程的放电腔的气体检测。通过该检测方法和模块减少了钝化/运行过程中不必要的时间及能源浪费，提高钝化效率和运行效果。

主权项

1.一种准分子激光器放电腔气体的检测模块，其特征在于：该检测模块包括进气管(1)，进气电磁阀(2)，气体室(3)，压力检测器(4)，质谱分析仪(5)，计算机(6)，真空泵(7)，真空管道电磁阀(8)，卤素气体处理器(9)，惰性气体管道(10)和惰性气体电磁阀(11)；所述进气管(1)上设置有进气电磁阀(2)，并与气体室(3)连通；所述压力检测器(4)以及质谱分析仪(5)分别通过管路与气体室(3)连通；所述真空泵(7)通过管路依次与卤素气体处理器(9)、气体室(3)连通，在气体室(3)与卤素气体处理器(9)之间的管路上设置真空管道电磁阀(8)；所述惰性气体管道(10)上设置有惰性气体电磁阀(11)，并与气体室(3)连通；所述进气电磁阀(2)、压力检测器(4)、质谱分析仪(5)、真空泵(7)、真空管道电磁阀(8)、卤素气体处理器(9)和惰性气体电磁阀(11)均与计算机(6)通讯连接。