[发明专利]一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块

权利要求书

1.一种准分子激光器放电腔气体的检测模块，其特征在于：该检测模块包括进气管(1)，进气电磁阀(2)，气体室(3)，压力检测器(4)，质谱分析仪(5)，计算机(6)，真空泵(7)，真空管道电磁阀(8)，卤素气体处理器(9)，惰性气体管道(10)和惰性气体电磁阀(11)；所述进气管(1)上设置有进气电磁阀(2)，并与气体室(3)连通；所述压力检测器(4)以及质谱分析仪(5)分别通过管路与气体室(3)连通；所述真空泵(7)通过管路依次与卤素气体处理器(9)、气体室(3)连通，在气体室(3)与卤素气体处理器(9)之间的管路上设置真空管道电磁阀(8)；所述惰性气体管道(10)上设置有惰性气体电磁阀(11)，并与气体室(3)连通；所述进气电磁阀(2)、压力检测器(4)、质谱分析仪(5)、真空泵(7)、真空管道电磁阀(8)、卤素气体处理器(9)和惰性气体电磁阀(11)均与计算机(6)通讯连接。

2.根据权利要求1所述的准分子激光器放电腔气体的检测模块，其特征在于：所述管路、进气管、进气电磁阀、气体室、真空管道电磁阀、惰性气体管道、惰性气体电磁阀的材料为耐卤素介质腐蚀的材料并进行钝化处理，例如表面采取镀镍处理的金属或全氟橡胶材料。

3.一种使用权利要求1或2所述的检测模块对准分子激光器放电腔钝化过程气体进行检测的方法，其特征在于：

该检测的方法包括，

初始化，对检测模块进行参数初始化，使得检测次数i＝0，数值组数值＝0；

初始检测，对激光器放电腔内的气体成分进行检测并记录检测次数i＝i+1，将检测结果记录到数值组i；

钝化，令激光器继续钝化设定数量的脉冲；

检测，再次对激光器放电腔内的气体成分进行检测并记录检测次数i＝i+1，将检测结果记录到数值组i；

比较，计算数值组i与数值组i-1的气体成分的差值，并将各气体成分的差值与阈值进行比较；如果均小于或等于阈值，钝化结束，否则，重复钝化、检测和比较步骤；其中，阈值是在钝化过程中取得的经过一定数量脉冲的气体成分差异的经验值。

4.根据权利要求3所述的检测的方法，其特征在于：

该检测的方法包括，

1)打开计算机，开启检测模块，自动进行参数初始化，检测次数i＝0，数值组数值＝0；

2)开启进气电磁阀，令激光器放电腔内的气体通过进气管充入气体室，当压力检测器上显示待检测气体压强达到一个大气压时关闭进气电磁阀；

3)开启质谱分析仪对气体室内的气体成分进行检测，并记录检测次数i＝i+1；

4)开启真空泵和真空管道电磁阀对气体室抽真空至1Pa，再开启惰性气体电磁阀充入惰性气体10Pa至0.1MPa；重复该步骤多次，例如3次；

5)计算机分析质谱检测结果，并记录各气体的含量到数值组i；

6)令激光器继续钝化设定数量脉冲，例如10⁴，再次开启进气电磁阀，充入一个大气压待检测气体；

7)开启质谱分析仪对气体室内的气体成分进行检测，并记录检测次数i＝i+1；

8)开启真空泵和真空管道电磁阀对气体室抽真空至1Pa，再开启惰性气体电磁阀充入惰性气体10Pa至0.1MPa；重复该步骤多次，例如3次；

9)计算机分析质谱检测结果，并记录各气体的含量到数值组i；

10)计算数值组i与数值组i-1的各气体含量的差值，将各气体含量的差值与对应的阈值进行比较；当存在至少一种气体的含量的差值大于对应的阈值，计算机显示需要继续钝化，重复步骤6)至步骤10)进行第i+1组的测试；当各气体的含量的差值均小于或等于对应的阈值，计算机显示钝化已完成；其中，所述阈值是在钝化过程中取得的经过一定数量脉冲的气体成分差异的经验值。