[发明专利]一种具有纳米尺度球形尖端的原子力显微镜探针制作方法

摘要

本发明涉及一种具有纳米尺度球形尖端的原子力显微镜探针制作方法，包括以下步骤：S1、取一微悬臂梁，在该微悬臂梁的表面制作出一凸起，以所述凸起远离所述微悬臂梁的一面作为衬底；或者，取一微悬臂梁，以该微悬臂梁的表面作为衬底；S2、在所述衬底上定位一个粒子注入位置；S3、将一高能粒子束根据球形尖端需要制作的大小定量在设定的面积范围内注入所述粒子注入位置，使所述粒子注入位置鼓起形成球形尖端。本发明成型速度快、产率高、成本低、适于产业化，球形尖端直径可控性好、不易脱落。

主权项

1.一种具有纳米尺度球形尖端(3)的原子力显微镜探针制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、取一微悬臂梁(1)，在该微悬臂梁(1)的表面设置一凸起，以所述凸起远离所述微悬臂梁(1)的一面作为衬底；或者，取一微悬臂梁(1)，以该微悬臂梁(1)的表面作为衬底；S2、在所述衬底上定位一个粒子注入位置；S3、将一高能粒子束(2)根据球形尖端(3)需要制作的大小定量在设定的面积范围内注入所述粒子注入位置，使所述粒子注入位置鼓起形成球形尖端(3)。