[发明专利]用于改善的对比分辨度的化学机械抛光在审
| 申请号： | 201810066844.4 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108372460A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | A·P·拉贝 | 申请（专利权）人： | 通用汽车环球科技运作有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/04 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谭英强 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开提供了一种具有改善的表面对比度的铝合金制品以及相关联的方法。方法包括对制品的表面进行研磨以及金刚石抛光，并通过包含胶态二氧化硅及腐蚀性物质的悬浮液对表面进行精细抛光来将α‑铝基体材料从表面去除，其中腐蚀性物质的pH值高于胶态二氧化硅的pH值。 | ||
| 搜索关键词： | 胶态二氧化硅 腐蚀性物质 化学机械抛光 金刚石抛光 铝合金制品 铝基体材料 表面去除 精细抛光 研磨 悬浮液 分辨 关联 | ||
【主权项】：
1.一种抛光包括铝合金的制品的方法，所述方法包括：对所述制品的表面进行平面研磨；通过多个具有第一金刚石片尺寸的第一金刚石片对所述制品的所述表面进行精细研磨；通过多个具有第二金刚石片尺寸的第二金刚石片对所述制品的所述表面进行金刚石抛光，其中所述第二金刚石片尺寸小于所述第一金刚石片尺寸；以及通过包含胶态二氧化硅及腐蚀性物质的悬浮液对所述制品的所述表面进行精细抛光，所述腐蚀性物质的pH值高于所述胶态二氧化硅的pH值。
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