[发明专利]一体集成式衍射光学元件测试设备有效
| 申请号： | 201810062507.8 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN110068447B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郝希应;周炳;张晓伟;吴治平;胡增新 | 申请（专利权）人： | 舜宇光学（浙江）研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33244 | 代理人： | 罗京;孟湘明 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一体集成式衍射光学元件测试设备，被适用于测试至少一衍射光学元件的不同光学参数，包括：至少一标板；以及至少一一体集成式测试设备，其中所述一体集成式测试设备对应所述标板设置；其中所述一体集成式测试设备包括至少一主体装置，至少一测试装置以及至少一底座，其中所述主体装置以及所述测试装置一体集成于所述底座，并彼此间隔紧凑设置，其中该衍射光学元件被设置于所述主体装置，经过该衍射光学元件调制的至少一结构光显示于所述标板为一衍射图像，所述测试装置获取不同区域的衍射图像。 | ||
| 搜索关键词： | 一体 集成 衍射 光学 元件 测试 设备 | ||
【主权项】：
1.一体集成式衍射光学元件测试设备，被适用于测试至少一衍射光学元件的不同光学参数，其特征在于，包括：至少一标板；以及至少一一体集成式测试设备，其中所述一体集成式测试设备对应所述标板设置；其中所述一体集成式测试设备包括至少一主体装置，至少一测试装置以及至少一底座，其中所述主体装置以及所述测试装置一体集成于所述底座，并彼此间隔紧凑设置，其中该衍射光学元件被设置于所述主体装置，经过该衍射光学元件调制的至少一结构光显示于所述标板为一衍射图像，所述测试装置获取不同区域的衍射图像。
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