[发明专利]基于短相干动态泰曼干涉仪的位相缺陷检测系统及方法在审
| 申请号： | 201810061382.7 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108195849A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;马云;李建欣;朱文华;刘一鸣;刘致远;丁煜;杨影 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于短相干动态泰曼干涉仪的位相缺陷检测系统及方法。该系统包括短相干偏振光源和偏振泰曼干涉仪两部分。方法为：首先短相干激光器发出的光束经偏振片和半波片后进入迈克尔逊干涉结构，出射一对偏振方向正交的线偏振光，将这对线偏振光耦合到保偏光纤中，作为主干涉仪的光源；然后通过调节PZT匹配干涉仪主体部分干涉腔的相位差，补偿参考光与测试光之间的位相延迟；最后利用偏振相机采集四幅移相量依次相差π/2的干涉图，通过移相算法求解得到位相缺陷的信息。本发明具有视场大、分辨率高、抗震性好、操作简单的优点，可以用于光学元件位相缺陷的实时高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷检测系统 相干 干涉 偏振光 抗震性 迈克尔逊干涉 偏振方向正交 干涉仪主体 高精度检测 相干激光器 相干偏振光 保偏光纤 光学元件 偏振相机 位相延迟 线偏振光 移相算法 半波片 参考光 测试光 干涉腔 干涉图 干涉仪 偏振片 相位差 移相量 耦合到 分辨率 求解 出射 对线 偏振 视场 光源 匹配 采集 | ||
【主权项】：
1.一种基于短相干动态泰曼干涉仪的位相缺陷检测系统，其特征在于，包括短相干偏振光源(1)和偏振泰曼干涉仪(10)两部分；短相干偏振光源(1)中的短相干激光器(2)发出的光束，经迈克尔逊干涉结构，产生一对偏振方向正交的线偏振光，进入偏振泰曼干涉仪(10)，通过调节第二角锥(7)匹配偏振泰曼干涉仪(10)主体部分干涉腔的相位差，补偿参考光与测试光之间的位相延迟，在偏振相机(17)上同时获取四幅相移干涉图，其中：所述短相干偏振光源(1)用于产生一对相位延迟、偏振方向正交的线偏振光；所述偏振泰曼干涉仪(10)将泰曼干涉仪与偏振成像技术相结合，使从第二参考镜(15)反射回来的参考光和从第一参考镜(14)反射回来的测试光形成干涉场。
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