[发明专利]光学微粒探针的制作设备和方法有效
申请号: | 201810054371.6 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN110057751B | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 孙琳;白本锋;张小萌;王佳 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 成丹 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供的一种光学微粒探针的制作设备和方法,包括:位置控制装置、扫描头、扫描台、成像装置和照明装置,扫描台位于扫描头的下方,扫描头的底部设置有与扫描头联动的探针,扫描台上固定有透明衬底和位于透明衬底表面的不同类型的光学微粒;成像装置设置在扫描台的下方,用于在照明装置发出的照射光的作用下对光学微粒进行成像,所输出的图像用于从不同类型的光学微粒中确定待粘附微粒;位置控制装置分别与扫描台和扫描头配合连接,以根据待粘附微粒的位置控制扫描台或者扫描头移动,使得探针粘附待粘附微粒以形成所述光学微粒探针。其制作工序简单,制作效率较高。 | ||
搜索关键词: | 光学 微粒 探针 制作 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光学微粒探针的制作设备,其特征在于,包括:位置控制装置、扫描头、扫描台、成像装置和照明装置,所述扫描台位于所述扫描头的下方,所述扫描头的底部设置有与所述扫描头联动的探针,所述扫描台上固定有透明衬底和位于所述透明衬底表面的不同类型的光学微粒;所述成像装置设置在所述扫描台的下方,用于在所述照明装置发出的照射光的作用下对所述光学微粒进行成像,所输出的图像用于从所述不同类型的光学微粒中确定待粘附微粒;所述位置控制装置分别与所述扫描台和所述扫描头配合连接,以根据所述待粘附微粒的位置控制所述扫描台或者所述扫描头移动,使得所述探针粘附所述待粘附微粒以形成所述光学微粒探针。
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