[发明专利]一种微热式声音传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810046774.6 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108180984A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 魏斌;翟光杰;李志刚;翟光强 | 申请（专利权）人： | 北京北方高业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张春雨 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微热式声音传感器及其制备方法，包括：隔热绝缘衬底结构、加热单元和热敏感单元，所述加热单元和所述热敏感单元相邻、且均位于所述隔热绝缘衬底结构之上；所述加热单元用于提供局部温度场；所述热敏感单元用于探测声波传播对所述局部温度场造成的温度变化，将该温度变化转换为电信号或光信号。利用本发明可以有效提升声音拾取效果。 | ||
| 搜索关键词： | 加热单元 热敏感 声音传感器 衬底结构 隔热绝缘 温度场 微热 制备 温度变化转换 声波传播 声音拾取 探测 | ||
【主权项】：
1.一种微热式声音传感器，其特征在于，包括：隔热绝缘衬底结构、加热单元和热敏感单元，所述加热单元和所述热敏感单元相邻、且均位于所述隔热绝缘衬底结构之上；所述加热单元用于提供局部温度场；所述热敏感单元用于探测声波传播对所述局部温度场造成的温度变化，将该温度变化转换为电信号或光信号。
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