[发明专利]一种纳米薄膜材料生长装置样品台有效
| 申请号： | 201810045284.4 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108330535B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王斌;施天谟;吴晨旭;李煜;张汝京 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/12 |
| 代理公司： | 35200 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种纳米薄膜材料生长装置样品台，涉及纳米薄膜材料。设有衬底支撑平台、衬底加热器、振动器、热超构材料层和支架，平台镶嵌于衬底加热器上，振动器下方衔接支架；所述振动器设于衬底加热器的背面并与衬底加热器底部连接，振动器设有循环计数器、比较器、寄存器、振动马达和振动马达电路，计数器输出端接寄存器，比较器与计数器连接并输出数据，所述振动马达电路与振动马达连接，振动马达电路包括电容、电阻和电源，所述电源与振动马达连接并为振动马达提供电能，循环计数器和比较器输出不同脉冲，而输出的占空比不同的脉冲宽度调制波来操作振动马达不同的振动模式，对振动进行反馈调节，个性化设置不同场景下不同操作提示采用不同的振动方式。 | ||
| 搜索关键词： | 振动马达 衬底加热器 振动器 纳米薄膜材料 电路 循环计数器 生长装置 比较器 寄存器 样品台 支架 电源 脉冲宽度调制波 比较器输出 个性化设置 计数器输出 计数器 操作提示 衬底支撑 底部连接 反馈调节 输出数据 振动方式 振动模式 材料层 占空比 电容 脉冲 电阻 背面 镶嵌 场景 输出 衔接 | ||
【主权项】：
1.一种纳米薄膜材料生长装置样品台，其特征在于设有衬底支撑平台、衬底加热器、振动器、热超构材料层和支架，所述衬底支撑平台镶嵌于衬底加热器上，振动器下方衔接支架，用于固定和支撑整个纳米薄膜材料生长装置样品台；所述振动器设于衬底加热器的背面并与衬底加热器底部连接，振动器设有循环计数器、比较器、寄存器、振动马达和振动马达电路，所述循环计数器的输出端接寄存器，比较器与循环计数器连接并输出数据，比较器的输出端控制高低电平的输出，所述振动马达电路与振动马达连接，振动马达电路包括电容、电阻和电源，所述电源与振动马达连接并为振动马达提供电能，循环计数器和比较器输出不同脉冲，而输出的占空比不同的脉冲宽度调制波来操作振动马达不同的振动模式，对振动进行反馈调节。/n
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