[发明专利]自动光学检测设备在审
| 申请号： | 201810034636.6 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN108375582A | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;王武怀;孙杰 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动光学检测设备，由双驱移动Y轴带动检测工件平台做Y方向的运动，由单驱移动X轴带动相机组件做X方向运动，优选由滚珠丝杠结构带动相机组件做Z方向的运动，XYZ三轴的合成运动完成空间三维运动。主要用于检测金属掩膜板、太阳能丝网等表面具有细微缺陷的片材，用于填补市面上的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 自动光学检测设备 相机组件 滚珠丝杠结构 金属掩膜板 合成运动 检测工件 三维运动 细微缺陷 丝网 移动 片材 三轴 优选 太阳能 填补 检测 | ||
【主权项】：
1.一种自动光学检测设备，包括承载单元、移动检测单元和控制系统，其特征在于，所述移动检测单元固定在所述承载单元上；所述承载单元包括基台、工件台、Y轴导轨和直线电机，所述工件台用于承载片材，所述工件台活动的设置在所述Y轴导轨上并可在Y轴导轨进行Y轴方向的运动，从而将片材从初始位置匀速运至检测位置；所述移动检测单元包括横梁和检测轴，所述检测轴用来实现片材的检测工作，所述检测轴活动的设置在所述横梁上，并在所述横梁上进行X轴方向的运动；所述控制系统用于控制整个设备的运行过程，并对所述移动检测单元检测片材的结果进行分析处理。
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