[发明专利]一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置在审
| 申请号： | 201810028503.8 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108287220A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 傅星;张锐;吴森;宋云鹏;李纪楷;陈富强;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 300192*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置，设置在中空式微位移单元上的用于加载被测薄膜的水平加载单元，位于水平加载单元上方的微悬臂梁测试单元，位于中空式微位移单元的下方用于采集图像数据的显微干涉测试单元，信号处理单元分别与微悬臂梁测试单元、水平加载单元、中空式微位移单元和显微干涉测试单元的信号输入输出端相连，用于对微悬臂梁测试单元的弹性系数进行标定和采集存储微悬臂梁测试单元的测试数据，控制水平加载单元对被测薄膜施加载荷，控制中空式微位移单元的移动使显微干涉测试单元能够在光学图像中选择合适的脱粘区域，并采集显微干涉测试单元获取的数据。本发明能够更精确地计算出界面能量释放率等薄膜与基底粘附特性信息。 | ||
| 搜索关键词： | 测试单元 水平加载单元 微悬臂梁 位移单元 显微干涉 中空 透明基底薄膜 界面力学 实验装置 特性测量 薄膜 信号输入输出端 采集图像数据 信号处理单元 薄膜施加 采集存储 测试数据 弹性系数 光学图像 界面能量 粘附特性 释放率 标定 基底 加载 脱粘 采集 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置，包括中空式微位移单元(1)，设置在所述中空式微位移单元(1)上的用于加载被测薄膜(6)的水平加载单元(2)，位于所述水平加载单元(2)上方用于对被测薄膜(6)进行力曲线测试的微悬臂梁测试单元(3)，以及位于所述中空式微位移单元(1)的下方用于采集被测薄膜(6)的图像数据的显微干涉测试单元(5)，其特征在于，还设置有信号处理单元(4)，所述信号处理单元(4)分别与所述的微悬臂梁测试单元(3)、水平加载单元(2)、中空式微位移单元(1)和显微干涉测试单元(5)的信号输入输出端相连，分别用于对微悬臂梁测试单元(3)的弹性系数进行标定和采集存储微悬臂梁测试单元(3)的测试数据，控制水平加载单元(2)对被测薄膜(6)施加载荷，控制中空式微位移单元(1)的移动使显微干涉测试单元(5)能够在光学图像中选择合适的脱粘区域，并采集显微干涉测试单元(5)获取的数据。
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