[发明专利]一种具有参考电容的传感器件及其制造方法

摘要

本发明提供了一种具有参考电容的传感器件及其制造方法，其利用片状导电鳍片实现参考电容的一体化封装，且利用片状导电鳍片的多少实现参考电容的电容值可调；具有条形槽道的凹槽是散热的基础，利用多个片状导电鳍片进行二次散热，最大程度的提高了散热效率；第二焊盘在侧面形成，可以避免焊盘在背面形成时所产生的较大的寄生电容问题。

主权项

1.一种具有参考电容的传感器件的制造方法，其包括：/n(1)提供一衬底，所述衬底包括具有半导体元件的正面、所述正面相对的背面以及与所述正面和背面垂直的侧面；/n(2)在所述衬底的所述背面蚀刻出凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述衬底的厚度的一半，所述凹槽底面具有均匀排布的多个条形槽道；/n(3)在所述衬底内钻孔形成过孔，所述过孔贯穿所述衬底；/n(4)在所述过孔中填充导电物质形成导电通孔，并在所述正面形成多个第一焊盘，在所述背面形成位于凹槽两侧的布线层，以使得所述第一焊盘通过所述导电通孔电连接至所述布线层；/n(5)在所述衬底的背面涂覆紫外活化树脂，并进行蚀刻去除部分的所述紫外活化树脂，形成插入所述条形槽道的片状树脂，利用紫外光充分照射所述片状树脂形成多个片状导电鳍片，所述片状导电鳍片的一端部插入所述条形槽道中，另一端部从所述凹槽内伸出，且所述布线层分别电连接所述片状导电鳍片的位于最外侧的两个鳍片；/n(6)层压绝缘树脂层，所述绝缘树脂层覆盖所述背面、所述布线层、所述片状导电鳍片以及所述凹槽，且所述绝缘树脂层的侧面与所述衬底的侧面齐平。/n