[发明专利]一种掺氧的Zn10Sb90纳米相变薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201810012205.X | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN108365091A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 胡益丰;张锐;郭璇;尤海鹏;朱小芹;邹华 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种掺氧的Zn10Sb90纳米相变薄膜材料，其化学组成通式为Zn10Sb90Ox，其中x代表不同的掺氧量标记，x＝0.5、1、1.2、1.5；还公开了该掺氧的Zn10Sb90纳米相变薄膜材料的制备方法。本发明的掺氧的Zn10Sb90Ox纳米薄膜材具有较高的晶化温度，能够大大提高PCRAM的热稳定性以及十年数据保持温度；同时具有较高的晶态电阻，从而能够减少PCRAM的功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米相变薄膜材料 制备 化学组成通式 晶态电阻 纳米薄膜 热稳定性 数据保持 功耗 晶化 | ||
【主权项】：
1.一种掺氧的Zn10Sb90纳米相变薄膜材料，其特征在于，其化学组成通式为Zn10Sb90Ox，其中x代表不同的掺氧量标记，x＝0.5、1、1.2、1.5。
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