[发明专利]一种硅薄膜材料应力检测系统

摘要

本发明涉及光电检测技术领域，尤其是一种硅薄膜材料应力检测系统。它包括沿Z轴方向顺序设置的激光器、偏振分束器、四分之一波片、二分之一波片和应力施加装置，同时还包括用于接收偏振分束器上的反射光并将光信号转换为电信号的反射光探测器、与反射光探测器相连的模拟锁相放大器和向样品施加调制电场并同时与模拟锁相放大器相连的低频信号发生器；应力施加装置包括定位盘、金属固定杆和应力施加杆。本发明利用应力可以使硅材料产生线性电光效应这一特点，通过三点法或四点法等方式来实现对硅材料应力的全面检测目的；其结构简单、无需检测人员具有丰富的背景知识，即可对硅薄膜材料进行全面、准确的应力检测。

主权项

1.一种硅薄膜材料应力检测系统，其特征在于：它包括沿Z轴方向顺序设置的一激光器、一用于将激光器的出射光束转换为在X‑Y轴平面作竖直振动的线偏振光并将经由样品反射回的光束转换为在X‑Y轴平面内作水平振动的线偏振光的偏振分束器、用于对经由偏振分束器透射的线偏振光和由样品反射回的光束进行偏振态调整的四分之一波片和二分之一波片以及用于对放置的样品沿Z轴方向施加应力并通过角度调整使照射到样品上的线偏振光经由二分之一波片和四分之一波片原路反射至偏振分束器上的应力施加装置；它还包括用于接收偏振分束器上的反射光并将光信号转换为电信号的反射光探测器、用于对反射光探测器输出的信号进行测量的模拟锁相放大器以及用于沿样品的X轴方向向样品施加调制电场并同时向模拟锁相放大器输出参考信号的低频信号发生器；所述应力施加装置包括一中轴线沿Z轴方向分布的定位盘、至少两根对称地装设于定位盘的偏心位置处以用于对样品进行固定的金属固定杆以及至少一根贯穿于定位盘分布以向样品施加应力的应力施加杆；所述反射光探测器和低频信号发生器分别与模拟锁相放大器电连接，且所述低频信号发生器与金属固定杆或定位盘电连接。