[发明专利]一种防止刮擦掩膜版边缘设备有效
申请号: | 201810004569.3 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108008604B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 伍志军 | 申请(专利权)人: | 苏州赛森电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人: | 韦宇昕 |
地址: | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种防止刮擦掩膜版边缘设备,包括掩膜版台面,所述掩膜版台面的顶部固定安装有六个固定销,且掩膜版台面的顶部放置有掩膜版,所述掩膜版与六个固定销均相配合,且掩膜版台面的一侧固定安装有竖直板,所述竖直板的顶部延伸至掩膜版台面的上方,且竖直板靠近掩膜版台面的一侧顶部焊接有顶板,所述顶板的底部开设有第一安装槽,且第一安装槽内安装有第一推杆电机,所述第一推杆电机的输出轴上焊接有横板,且横板的底部两侧均焊接有放置板,两个放置板相互靠近的一侧均开设有第二安装槽。本发明实用性高,通过移动板和风机,方便清除掩膜版上表面和下表面的灰尘,并且通过弹簧和盛装箱,方便在清除掩膜版的同时将掩膜版固定,提高掩膜版的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 刮擦掩膜版 边缘 设备 | ||
【主权项】:
1.一种防止刮擦掩膜版边缘设备,包括掩膜版台面(1),其特征在于,所述掩膜版台面(1)的顶部固定安装有六个固定销(2),且掩膜版台面(1)的顶部放置有掩膜版(3),所述掩膜版(3)与六个固定销(2)均相配合,且掩膜版台面(1)的一侧固定安装有竖直板(4),所述竖直板(4)的顶部延伸至掩膜版台面(1)的上方,且竖直板(4)靠近掩膜版台面(1)的一侧顶部焊接有顶板(5),所述顶板(5)的底部开设有第一安装槽(6),且第一安装槽(6)内安装有第一推杆电机(7),所述第一推杆电机(7)的输出轴上焊接有横板(8),且横板(8)的底部两侧均焊接有放置板(9),两个放置板(9)相互靠近的一侧均开设有第二安装槽(10),所述第二安装槽(10)内安装有第二推杆电机(11),且第二推杆电机(11)的输出轴上焊接有推动板(12),所述横板(8)的底部焊接有移动板(13),所述移动板(13)位于两个放置板(9)的同一侧,且移动板(13)靠近放置板(9)的一侧固定安装有两个风机(14),所述第二推杆电机(11)位于两个风机(14)之间,且掩膜版台面(1)的顶部固定安装有固定板(15),所述固定板(15)位于掩膜版(3)的一侧,且固定板(15)靠近掩膜版(3)的一侧焊接有多个弹簧(16),多个弹簧(16)的同一端焊接有同一个滑动板(17),所述滑动板(17)靠近固定板(15)的一侧固定安装有牵引绳(18),且固定板(15)靠近滑动板(17)的一侧开设有通孔(19),所述牵引绳(18)远离滑动板(17)的一端贯穿通孔(19)并固定安装有浮块(20),且掩膜版台面(1)的一侧固定安装有盛装箱(21),所述盛装箱(21)内盛装有水,且浮块(20)漂浮于水面上。
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