[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 201780093372.5 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110997974A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 崎尾进;岸本克彦 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 由实施方式公开的蒸镀装置具有：真空腔室(8)；掩膜保持件(15)，其对真空腔室(8)内部所配置的蒸镀掩膜1进行保持；基板保持件(29)，其以与所保持的蒸镀掩膜(1)相接的方式对被蒸镀基板(2)进行保持；电磁铁(3)，其配置于被蒸镀基板(2)的与蒸镀掩膜1相反面的上方；蒸镀源5，其使蒸镀材料气化或升华；以及热管(7)，其至少吸热部(71)与电磁铁(3)接触，散热部(72)被导出至真空腔室(8)的外部。其热管(7)与电磁铁(3)的接触部以线圈(32)的内周的截面积以上的面积紧贴。可抑制电磁铁的温度上升，获得精度良好的蒸镀图案。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 以及 有机 el 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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