[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 201780093370.6 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111032907A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 岸本克彦;崎尾进 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L51/50;H05B33/10;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种在被蒸镀基板与蒸镀掩模的对位时不易受到磁场的影响，并且通过在蒸镀时使用强烈地吸引蒸镀掩模而使被蒸镀基板与蒸镀掩模接近的磁性卡盘，从而可防止磁性卡盘的发热的蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法。在该蒸镀装置中，磁性卡盘(3)具备永久磁铁(3A)和电磁铁(3B)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 以及 有机 el 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于堺显示器制品株式会社，未经堺显示器制品株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780093370.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
