[发明专利]带电粒子射线装置和试样的厚度测定方法有效
| 申请号： | 201780091972.8 | 申请日： | 2017-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110770537B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 佐藤高广;野间口恒典 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;陈彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种带电粒子射线装置，具备：存储部，其存储有显示前述带电粒子射线照射于配置在试样上的层时得到的带电粒子信号的强度或强度比与前述层的厚度的关系的关系信息；以及运算部，其使用前述关系信息与前述带电粒子信号的强度或强度比，算出前述层的厚度作为前述试样的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 射线 装置 试样 厚度 测定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子射线装置，具备：/n带电粒子射线柱，其照射带电粒子射线；/n试样支撑机构，其支撑作为测定对象的试样；/n检测器，其检测所述带电粒子射线照射于所述试样时得到的带电粒子信号；/n存储部，其存储有表示对配置于所述试样上的层照射所述带电粒子射线时得到的带电粒子信号的强度或强度比与所述层的厚度的关系的关系信息；以及/n运算部，其使用所述关系信息与所述带电粒子信号的强度或强度比，算出所述层的厚度作为所述试样的厚度。/n
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