[发明专利]X射线分光分析装置有效
| 申请号： | 201780090533.5 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN110678743B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 佐藤贤治;和泉拓朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;G01N23/207 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种X射线分光分析装置，具备：激发源(12)，向试样(S)的照射区域(A)照射激发线；衍射部件(14)，设置为面向照射区域(A)；狭缝部件(13)，设置在照射区域(A)和衍射部件(13)之间，具有与照射区域(A)及衍射部件(14)的规定的面平行的狭缝；X射线线性传感器(15)，具有在与狭缝的长度方向垂直的方向上排列有多个检测元件而形成的光入射面；第1移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述衍射部件移动，从而变更所述试样表面与所述规定的面所成的角度、或/和所述试样表面与所述规定的面之间的距离；第2移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述X射线线性传感器移动，从而使该X射线线性传感器位于通过所述狭缝而在所述规定的面衍射的特征X射线的路径上。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 分光 分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种X射线分光分析装置，其特征在于，具备：/n(a)激发源，在试样表面的规定的照射区域照射用于产生特征X射线的激发线；/n(b)衍射部件，设置为面向所述照射区域；/n(c)狭缝部件，设置在所述照射区域和所述衍射部件之间，具有与该照射区域及该衍射部件的规定的面平行的狭缝；/n(d)X射线线性传感器，具有在与所述狭缝的长度方向垂直的方向上排列有多个检测元件而形成的光入射面；/n(e)第1移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述衍射部件移动，从而变更所述试样表面与所述规定的面所成的角度、或/和所述试样表面与所述规定的面之间的距离；/n(f)第2移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述X射线线性传感器移动，由此使该X射线线性传感器位于通过所述狭缝而在所述规定的面衍射的特征X射线的路径上。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780090533.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
