[发明专利]材料沉积布置、用于沉积材料的方法和材料沉积腔室在审
| 申请号： | 201780088859.4 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN110462096A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·施纳彭伯格;托马斯·德皮希;斯特凡·海因;安娜贝尔·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C16/455;F16K49/00;C23C16/52 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静<国际申请>=PCT/EP2 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种用于将材料沉积在基板上的材料沉积布置腔室(1000)。材料沉积布置腔室包括真空产生装置(1060)和材料沉积布置(100)。材料沉积布置具有阀元件(200)，阀元件被配置为调节将沉积的材料的材料流通。 | ||
| 搜索关键词： | 材料沉积 布置腔 阀元件 真空产生装置 材料流通 基板 沉积 配置 | ||
【主权项】：
1.一种材料沉积布置(100)，包括：/n阀元件(200)，其中至少部分的所述阀元件是可加热的。/n
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