[发明专利]在等离子体反应器中提供寄生成分的分流消除系统和方法有效
| 申请号： | 201780086692.8 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110301029B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 亚斯万斯·兰吉尼;苏尼尔·卡普尔;爱德华·奥古斯提尼亚克;崎山行则 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/38 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于消除与寄生电容相关联的阻抗的系统和方法。所述系统中的一个包括具有壳体的等离子体室。该壳体包括基座、位于基座上方以面向基座的喷头、以及位于喷头上方的顶板。该系统还包括耦合到等离子体室的射频(RF)传输线，其用于将经改进的RF信号传输到喷头。该系统包括耦合在距顶板预定距离内的分流电路。该分流电路耦合到RF传输线，以消除与壳体内的寄生电容相关联的阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 提供 寄生 成分 分流 消除 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于消除与寄生电容相关的阻抗的系统，其包括：具有壳体的等离子体室，其中所述壳体包括：基座；喷头，其位于所述基座上方，以面向所述基座；和顶板，其位于所述喷头上方；射频(RF)传输线，其耦合到所述等离子体室，以将经修改的RF信号传输到所述喷头；和耦合在距所述顶板预定距离内的分流电路，其中所述分流电路耦合到所述RF传输线，以消除与所述壳体内的寄生电容相关的阻抗。
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