[发明专利]蒸镀用掩模、蒸镀用掩模的制造方法和有机EL显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 201780084480.6 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN110214198A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 川户伸一;二星学;小池英士;井上智;井上毅;小林勇毅 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的蒸镀用掩模是包含设置有供蒸镀颗粒通过的多个开口(4)的金属制基板(2)的蒸镀用掩模(1)，其中，多个开口(4)由多个开口组构成，开口组中的开口(4)按照一定的规则反复配置，以能够从一侧支承整个基板(2)的配置方式，仅在开口组形成区域(3)的外侧设置有同一高度的多个凸部(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 掩模 开口组 开口 有机EL显示装置 金属制基板 配置方式 外侧设置 基板 凸部 支承 制造 配置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用掩模，其包含基板，在所述基板设置有供蒸镀颗粒通过的多个开口，该蒸镀用掩模的特征在于：所述多个开口中的至少一部分由一个以上的开口组构成，所述开口组中的开口按照一定的规则反复配置，开口组形成区域是所述基板中的区域，该区域至少包含属于各所述开口组的多个开口和属于各所述开口组的多个开口中的相邻的开口间的区域，以能够从一侧支承整个所述基板的配置方式，仅在所述开口组形成区域的外侧设置有同一高度的多个凸部。
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