[发明专利]等离子体喷涂装置和电池用电极的制造方法有效
申请号: | 201780075390.0 | 申请日: | 2017-12-07 |
公开(公告)号: | CN110088350B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 小林义之;吉井直树;门沢克治;梶公智 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | C23C4/06 | 分类号: | C23C4/06;C23C4/08;C23C4/134;H01G11/86;H01G13/00;H01M4/04;H01M4/139;H05H1/26 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种等离子体喷涂装置,具有:供给部,将喷涂材料的粉末用等离子体生成气体来运送,从前端部的开口进行喷射;等离子体生成部,利用500W~10kW的电力将喷射出的上述等离子体生成气体分解而生成等离子体;以及,腔室,使上述供给部和上述等离子体生成部成为封闭空间,利用在该封闭空间中生成的上述等离子体使上述喷涂材料的粉末熔融而成膜于对象物,其中,上述喷涂材料为锂(Li)、铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)和金(Au)中的任一者,上述喷涂材料的粉末为1μm~50μm的粒径。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 喷涂 装置 电池 用电 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种等离子体喷涂装置,具有:供给部,将喷涂材料的粉末用等离子体生成气体来运送,从前端部的开口进行喷射;等离子体生成部,利用500W~10kW的电力将喷射的所述等离子体生成气体分解而生成等离子体;以及腔室,使所述供给部和所述等离子体生成部成为封闭空间,利用在该封闭空间中生成的所述等离子体使所述喷涂材料的粉末熔融而成膜于对象物,其中,所述喷涂材料为锂Li、铝Al、铜Cu、银Ag和金Au中的任一者,所述喷涂材料的粉末为1μm~50μm的粒径。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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