[发明专利]低颗粒保护的挡板阀有效
| 申请号： | 201780074468.7 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN110023660B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | C·T·卡尔森;T·J·普莱德;B·B·莱尔顿;A·韦伯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K1/20 | 分类号： | F16K1/20;F16K27/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例整体涉及一种挡板阀。所述挡板阀可以与处理腔室(诸如，半导体基板处理腔室)一起使用。在一个实施例中，一种挡板阀包括：壳体，所述壳体具有在所述壳体的第一端处的第一开口和在所述壳体的第二端处的第二开口；第一挡板，所述第一挡板可枢转地设置在所述壳体中；以及第二挡板，所述第二挡板可枢转地设置在所述壳体中。所述第一挡板和所述第二挡板可移动以选择性地打开和关闭所述第一开口和所述第二开口中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 保护 挡板 | ||
【主权项】：
1.一种挡板阀，包括：壳体，所述壳体具有在所述壳体的第一端处的第一开口和在所述壳体的第二端处的第二开口；第一挡板，所述第一挡板可枢转地设置在所述壳体中；以及第二挡板，所述第二挡板可枢转地设置在所述壳体中，所述第一挡板和所述第二挡板可移动以选择性地打开和关闭所述第一开口和所述第二开口中的至少一个，所述第一挡板和所述第二挡板在打开位置时重叠。
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