[发明专利]压差传感器和制造在审
| 申请号： | 201780069860.2 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN109952498A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | D.E.瓦格纳 | 申请（专利权）人： | 测量专业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/02 | 分类号： | G01L13/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种压差传感器包括第一传感器壳体构件和第二传感器壳体构件，该第一传感器壳体构件具有用于接收第一压力下的第一流体的第一流体入口端口，该第二传感器壳体构件具有用于接收第二压力下的第二流体的第二流体入口端口。一种压力传感子组件包括具有用于传感压力的敏感隔膜的半导体压力传感管芯。压力传感子组件配置为用于插入到压差传感器中，使得一旦被插入则第一流体入口端口与敏感隔膜的第一表面流体连通且第二流体入口端口与敏感隔膜的第二表面流体连通。 | ||
| 搜索关键词： | 壳体构件 入口端口 压差传感器 第二流体 第一流体 敏感隔膜 第二传感器 第一传感器 流体连通 压力传感 子组件 半导体压力 传感压力 第二表面 第一表面 传感管 配置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种压差传感器，包括：第一传感器壳体构件，具有用于接收第一压力下的第一流体的第一流体入口端口：第二传感器壳体构件，具有用于接收第二压力下的第二流体的第二流体入口端口；和压力传感子组件，具有包括敏感隔膜的半导体压力传感管芯，压力传感子组件配置为插入到压差传感器中，使得一旦被插入则第一流体入口端口与敏感隔膜的第一表面流体连通且第二流体入口端口与敏感隔膜的第二表面流体连通。
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