[发明专利]药液、药液容纳体、图案形成方法及试剂盒

摘要

本发明的课题在于提供一种能够使用少量的抗蚀剂组合物在基板上形成更薄且厚度均匀的抗蚀膜，并且具有优异的缺陷抑制性能的药液。并且，本发明的课题还在于提供一种图案形成方法。本发明的药液含有：2种以上的有机溶剂的混合物；及杂质金属，该杂质金属含有选自由Fe、Cr、Ni及Pb组成的组中的1种，该药液中，混合物在25℃下的蒸气压为50～1420Pa，当药液中含有1种杂质金属时，药液中的杂质金属的含量为0.001～100质量ppt，当药液中含有2种以上的杂质金属时，药液中的杂质金属各自的含量为0.001～100质量ppt。

主权项

1.一种药液，其含有：2种以上的有机溶剂的混合物；及杂质金属，含有选自由Fe、Cr、Ni及Pb组成的组中的1种，所述药液中，所述混合物在25℃下的蒸气压为50Pa～1420Pa，当所述药液中含有1种所述杂质金属时，所述药液中的所述杂质金属的含量为0.001质量ppt～100质量ppt，当所述药液中含有2种以上的所述杂质金属时，所述药液中的所述杂质金属各自的含量为0.001质量ppt～100质量ppt。