[发明专利]用于真空过程可控运行的真空阀系统

摘要

一种阀系统由真空阀和调节单元构成，其中该真空阀具有包括阀口和围绕该阀口的第一密封面的阀座以及具备用于对应于第一密封面的第二密封面基本气密封闭阀口的阀封闭件。与阀封闭件相连的驱动单元被设计成该阀封闭件能按规定被改变和调节以提供取决于阀封闭件相应相应状态的相应阀口状态。调节单元被设计用于通过基于针对过程参数当前确定的被调参数和目标参数的驱动单元控制执行提供该阀口状态的有目的的改变或调节的调节过程。该调节单元具有用于监测调节过程的检查功能，该检查功能如此配置，在执行检查功能时，在调节过程执行范围内在调节过程的至少一个时段内获得一系列阀封闭件状态并将其作为当前调节数据(21a)存储，将当前调节数据(21a)与规定的目标调节数据(20,20a)相比较，并且基于当前调节数据(21a)与目标调节数据(20,20a)的比较来产生过程信息。

主权项

1.一种阀系统，由用于调节体积流或质量流且气密封闭工艺过程体积(1)的真空阀(10)和调节单元构成，其中所述真空阀(10)具有：·阀座，其具有限定出开口轴线(34)的阀口(33)和围绕该阀口(33)的第一密封面(35)，·用于以对应于所述第一密封面(35)的第二密封面基本气密封闭所述阀口(33)的阀封闭件(38)，和·与所述阀封闭件(38)相连的驱动单元(40)，该驱动单元被设计成使得所述阀封闭件(38)°能按规定被改变和调节以提供取决于所述阀封闭件(38)的相应相应状态的相应阀口状态，并且°从所述阀封闭件(38)至少部分放开所述阀口(33)的打开位置(O)运动到所述第一密封面(35)被压到所述第二密封面上且所述阀口(33)基本气密封闭的关闭位置并且能回移，其中所述调节单元被设计用于通过基于针对过程参数当前确定的被调参数(12)和目标参数(13)的所述驱动单元(40)的控制执行提供所述阀口状态的有目的的改变或调节的调节过程，尤其由此通过所造成的所述阀封闭件(38)的状态变化使所述被调参数(12)接近所述目标参数(13)，其特征是，所述调节单元具有用于监测所述调节过程的检查功能，该检查功能如此配置，即，当执行检查功能时，·在调节过程执行范围内在调节过程的至少一个时段内获得一系列阀封闭件(38)状态并将其作为当前调节数据(21a)来存储，·将所述当前调节数据(21a)与规定的目标调节数据(20,20a)相比较，并且·基于所述当前调节数据(21a)与所述目标调节数据(20,20a)的比较来产生过程信息。