[发明专利]能安装多个相异的图案光源的图案光照射装置及检查装置有效
| 申请号： | 201780063339.8 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109804300B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 许贞;崔宇材 | 申请（专利权）人： | 株式会社高迎科技 |
| 主分类号： | G02B30/00 | 分类号： | G02B30/00;H04N5/372;G01N21/88;G01N21/95;G01B11/25;G03B13/32 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种图案光照射装置及利用其的检查装置。图案光照射装置包括在具有多个贯通孔的框架上安装的第一图案光源及第二图案光源。多个贯通孔分别沿唯一的光轴形成。第一图案光源构成得照射具有固定间距的第一图案光。第二图案光源构成得照射具有可变间距的第二图案光。 | ||
| 搜索关键词： | 安装 相异 图案 光源 照射 装置 检查 | ||
【主权项】：
1.一种图案光照射装置，其中，包括：框架，其具有分别沿唯一的光轴形成的多个贯通孔；第一图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第一集合，照射具有固定间距的第一图案光；及第二图案光源，其固定安装于所述框架，构成得通过所述多个贯通孔的第二集合，照射具有可变间距的第二图案光。
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