[发明专利]真空泵及真空泵中具备的螺旋状板、旋转圆筒体、以及螺旋状板的制造方法

摘要

课题是提供排气能力优良且能够以低成本实现的真空泵、螺旋状板、旋转圆筒体、螺旋状板的制造方法。解决手段如下。在有关实施方式的真空泵中，将比狭缝靠下游侧的螺旋状板不是配设到比狭缝靠上游侧的螺旋状板的延长线上，并且是向使由狭缝形成的间隙变小的方向移动而配设。进而，下游侧的螺旋状板的移动量设为在上游侧和下游侧螺旋状板彼此的间隙消失而重叠的量。此外，当将螺旋状板切削出时，使加工用立铣刀的半径比螺旋状板的狭缝宽度小。此外，使加工用立铣刀的半径比上游侧的螺旋状板与下游侧的螺旋状板的相位差小。进而，对螺旋状板的形成狭缝的端部实施倒角加工。

主权项

1.一种真空泵，具备：外装体，形成有吸气口和排气口；旋转轴，被所述外装体内包，旋转自如地被支承；螺旋状板，在所述旋转轴或配设于所述旋转轴的旋转圆筒体的外周面以螺旋状配设，设置有至少一个狭缝；固定圆板，在所述螺旋状板的所述狭缝内与该狭缝设置规定的间隔而配置，具有贯通的孔部；间隔件，将所述固定圆板固定；以及真空排气机构，借助所述螺旋状板和所述固定圆板的相互作用，将从所述吸气口侧吸入的气体向所述排气口侧移送；其特征在于，所述狭缝的下游侧的所述螺旋状板的至少一个从所述狭缝的上游侧的所述螺旋状板的延长线上向与所述狭缝的上游侧的所述螺旋状板重叠的方向偏移而配设。