[发明专利]真空泵及真空泵中具备的螺旋状板、旋转圆筒体、以及螺旋状板的制造方法

说明书

课题是提供排气能力优良且能够以低成本实现的真空泵、螺旋状板、旋转圆筒体、螺旋状板的制造方法。解决手段如下。在有关实施方式的真空泵中，将比狭缝靠下游侧的螺旋状板不是配设到比狭缝靠上游侧的螺旋状板的延长线上，并且是向使由狭缝形成的间隙变小的方向移动而配设。进而，下游侧的螺旋状板的移动量设为在上游侧和下游侧螺旋状板彼此的间隙消失而重叠的量。此外，当将螺旋状板切削出时，使加工用立铣刀的半径比螺旋状板的狭缝宽度小。此外，使加工用立铣刀的半径比上游侧的螺旋状板与下游侧的螺旋状板的相位差小。进而，对螺旋状板的形成狭缝的端部实施倒角加工。

技术领域

本发明涉及真空泵及真空泵中具备的螺旋状板、旋转圆筒体、以及螺旋状板的制造方法。

详细地讲，涉及具备螺旋状板的真空泵及真空泵中具备的螺旋状板、旋转圆筒体、以及螺旋状板的制造方法，所述螺旋状板具有狭缝。

背景技术

在用来进行被配设到的真空室内的真空排气处理的真空泵中，收纳着由旋转部和固定部构成且作为发挥排气功能的构造物的气体移送机构。

在该气体移送机构中，有借助配设在旋转部的螺旋状板与配设在固定部的固定圆板的相互作用将气体压缩的结构的机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2015－505012号。

在专利文献1中，对于以下的技术进行了记载：在真空泵的旋转圆筒的侧面设置螺旋状板（螺旋叶片30等），在该螺旋状板中至少设置有一个的槽40（在本申请的说明中称作狭缝的结构）内，配设设置有阵列状的孔部（穿孔38等）的固定圆板（有孔交叉元件14等）。

图6及图7是用来说明以往技术的概略图。

如图6所示，上述那样的设置有阵列状的孔部的固定圆板10在设置于以往的螺旋状板9000的狭缝9001内，与该狭缝9001经由规定的空隙（间隙/余隙）而配设。

如果是该构造，则能够使螺旋状板9000配设为从吸气口（上游）侧到排气口（下游）侧以螺旋形状连续，所以制造过程中的加工较容易。

发明内容

发明要解决的课题

但是，在具备这样的螺旋状板9000的以往的真空泵中，有以下所述那样的课题。

如图7（a）所示，在以往的螺旋状板9000中，在螺旋状板9000的角度θ1较小的情况下，在上游侧和下游侧的螺旋状板9000间出现间隙，在狭缝9001（间隙C）中，螺旋状板9000彼此（上游侧和下游侧）不共有重叠部分。即，成为螺旋状板9000彼此没有经由规定的空隙对置的结构。

如果是该结构，则在使具有材料部11和孔部12的固定圆板10配设到螺旋状板9000的狭缝9001内的情况下，如图7（b）所示，在螺旋状板9000（孔部12）中倒流的气体增加，排气效率有可能下降。

本发明的目的是提供减少气体的倒流、此外抑制排气效率的下降而使生产率提高的真空泵及真空泵中具备的螺旋状板、旋转圆筒体、以及螺旋状板的制造方法。

用来解决课题的手段

在技术方案1所述的本申请发明中，提供一种真空泵，具备：外装体，形成有吸气口和排气口；旋转轴，被所述外装体内包，旋转自如地被支承；螺旋状板，在所述旋转轴或配设于所述旋转轴的旋转圆筒体的外周面以螺旋状配设，设置有至少一个狭缝；固定圆板，在所述螺旋状板的所述狭缝内与该狭缝设置规定的间隔而配置，具有贯通的孔部；间隔件，将所述固定圆板固定；以及真空排气机构，借助所述螺旋状板和所述固定圆板的相互作用，将从所述吸气口侧吸入的气体向所述排气口侧移送；其特征在于，所述狭缝的下游侧的所述螺旋状板的至少一个从所述狭缝的上游侧的所述螺旋状板的延长线上向与所述狭缝的上游侧的所述螺旋状板重叠的方向偏移而配设。