[发明专利]微压力传感器有效
| 申请号： | 201780061568.6 | 申请日： | 2017-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN110088586B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬.A.马什 | 申请（专利权）人： | 斯蒂芬.A.马什 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/08;G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种微压力传感器，其包括主体，所述主体具有通过膜提供的区室化腔室，膜固定在所述主体的相对壁之间，并且膜承载在膜的表面上布置的电极。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微压力传感器，包括：主体，其具有限定腔室的一对相对的壁；多个膜，每个膜具有在其表面上的对应电极层，所述多个膜布置在所述腔室中，并固定在所述主体的相对的壁之间，以在所述腔室内提供多个隔室；联接到所述多个隔室中的第一组隔室的第一组端口，所述第一组端口布置在所述主体的一对相对的壁中的第一壁的对应部分中，所述主体的所述一对相对的壁中的第二壁是所述主体的实心部分；和联接到所述多个隔室中的不同的第二组隔室的第二组端口，所述第二组端口布置在所述主体的一对相对的壁中的第二壁的对应部分中，所述主体的所述一对相对的壁中的第一壁是所述主体的实心部分。
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