[发明专利]真空泵、以及真空泵中具备的螺旋状板、间隔件及旋转圆筒体

摘要

本发明目的是实现将排气能力保持为较高并且耗电较小的真空泵。在有关本发明的实施方式的真空泵中，使配设的螺旋状板的外径在下游侧比上游侧小。即，设置使配设在下游侧的螺旋状板的叶片长比配设在上游侧的螺旋状板的叶片长短的阶差部。进而，在配设于阶差部处的间隔件上设置避让部形成部，使阶差部中的上游侧的间隔件（即，与没有使外径变小的螺旋状板对置的间隔件）和下游侧的间隔件（即，与使外径变小的螺旋状板对置的间隔件）接触的接触面的内径一致。借助该结构，能够实现将排气能力保持为较高并且耗电较小的真空泵。

主权项

1.一种真空泵，具备：外装体，其形成有吸气口和排气口；旋转轴，其被前述外装体包围在内部，被旋转自如地支承；螺旋状板，其以螺旋状配设在前述旋转轴或旋转圆筒体的外周面上，设置有至少1个狭缝，所述旋转圆筒体配设在前述旋转轴上；固定圆板，其在前述螺旋状板的前述狭缝内与该狭缝设置既定的间隔而配设，具有贯通的孔部；间隔件，其将前述固定圆板固定；以及真空排气机构，其借助前述螺旋状板和前述固定圆板的相互作用，将从前述吸气口侧吸气的气体向前述排气口侧移送；其特征在于，以前述狭缝的至少1个为边界，前述螺旋状板的外径缩小。