[发明专利]用于控制离子污染的方法及系统有效

专利信息
申请号: 201780057314.7 申请日: 2017-09-13
公开(公告)号: CN109716482B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: T·R·科维;Y·勒布朗;B·B·施奈德 申请(专利权)人: DH科技发展私人贸易有限公司
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;H01J49/26
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 马景辉
地址: 新加坡*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 由于质谱系统的大多数离子光学器件经受离子沉积且可在受到严重污染之后表现出明显不同的行为(例如,丧失灵敏度),因此必须定期清洁污浊的表面以维持灵敏度。虽然前端组件(例如,帘幕板、孔口板、Qjet、Q0、IQ0)的表面可相对容易清洁,但下游高真空腔室内所含有的组件(例如,Q1、IQ1)的污浊可导致极大的延迟及花费,这是因为在清洁之前必须将高真空腔室排气且基本上拆解。本文提供用于对质谱仪系统的组件的污染加以控制的方法及系统。通过在非数据获取周期期间减少污染离子的传输,本发明教示可提高吞吐量、改善稳健性及/或缩短对污浊的组件进行排气/拆解/清洁通常所需的停机时间。
搜索关键词: 用于 控制 离子 污染 方法 系统
【主权项】:
1.一种质谱仪系统,其包括:离子源壳体,其界定电离腔室,所述电离腔室包括界定帘幕板孔隙的帘幕板,在所述电离腔室中从样本产生的离子可穿过所述帘幕板孔隙而传输到一或多个下游质量分析仪;孔口板,其界定取样孔口,所述孔口板与所述帘幕板分隔开以在其两者之间界定帘幕腔室,来自所述帘幕板孔隙的离子可穿过所述帘幕腔室而传输到所述取样孔口;电力供应器,其电耦合到所述帘幕板及所述孔口板,以向所述帘幕板及所述孔口板提供电信号;及控制器,其以操作方式耦合到所述电力供应器,所述控制器经配置以控制施加到所述帘幕板及所述孔口板的所述电信号,以在第一周期期间依据第一配置且在第二周期期间依据第二配置来调制所述帘幕腔室内的电场,在所述第一周期期间,离子倾向于被传输穿过所述取样孔口,在所述第二周期期间,离子基本上被阻止穿过所述帘幕腔室而传输到所述取样孔口。
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