[发明专利]自动化三维测量在审

专利信息
申请号: 201780057062.8 申请日: 2017-08-08
公开(公告)号: CN109716197A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: J·J·徐;R·苏塔耳曼 申请(专利权)人: 科磊股份有限公司
主分类号: G02B21/00 分类号: G02B21/00;G02B21/36;G01N21/95;G06T7/571
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 刘丽楠
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种使用光学显微镜产生样本的三维信息的方法包含:按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离;在每一经预先确定的步骤处捕获图像。在一个实例中,所述方法进一步包含:确定每一经捕获图像中的每一像素的特性;针对每一经捕获图像确定跨所述经捕获图像中的所有像素的最大特性;及比较每一经捕获图像的所述最大特性以确定每一步骤处是否存在所述样本的表面。在另一实例中,所述方法进一步包含:确定每一经捕获图像中的每一像素的特性;针对每一经捕获图像确定具有第一范围内的特性值的像素计数;及基于每一经捕获图像的所述像素计数确定每一步骤处是否存在所述样本的表面。
搜索关键词: 捕获图像 像素 样本 光学显微镜 预先确定 三维测量 三维信息 物镜 自动化 变更
【主权项】:
1.一种使用光学显微镜产生样本的三维3‑D信息的方法,所述方法包括:按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离;在每一经预先确定的步骤处捕获图像;确定每一经捕获图像中的每一像素的特性;针对每一经捕获图像确定跨所述经捕获图像中的所有像素的最大特性;及比较每一经捕获图像的所述最大特性以确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面。
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