[发明专利]自动化三维测量在审
| 申请号： | 201780057062.8 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN109716197A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | J·J·徐;R·苏塔耳曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/36;G01N21/95;G06T7/571 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 捕获图像 像素 样本 光学显微镜 预先确定 三维测量 三维信息 物镜 自动化 变更 | ||
1.一种使用光学显微镜产生样本的三维3-D信息的方法，所述方法包括：
按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离；
在每一经预先确定的步骤处捕获图像；
确定每一经捕获图像中的每一像素的特性；
针对每一经捕获图像确定跨所述经捕获图像中的所有像素的最大特性；及
比较每一经捕获图像的所述最大特性以确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面。
2.根据权利要求1所述的方法，其中每一像素的所述特性是强度。
3.根据权利要求1所述的方法，其中每一像素的所述特性是对比度。
4.根据权利要求1所述的方法，其中每一像素的所述特性是条纹对比度。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学显微镜包含载物台，其中所述样本由所述载物台支撑，其中所述光学显微镜经调适以与计算机系统通信，且其中所述计算机系统包含经调适以存储每一经捕获图像的存储器装置。
6.根据权利要求1所述的方法，其中基于其中确定存在所述样本的表面的所述经预先确定的步骤而产生所述样本的三维图像。
7.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学显微镜是共焦显微镜。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学显微镜是结构化照明显微镜。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学显微镜是干涉仪显微镜。
10.一种使用光学显微镜产生样本的三维3-D信息的方法，所述方法包括：
按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离；
在每一经预先确定的步骤处捕获图像；
确定每一经捕获图像中的每一像素的特性；
针对每一经捕获图像确定具有第一范围内的特性值的像素的计数，其中并不具有所述第一范围内的特性值的所有像素未包含于所述像素计数中；及
基于每一经捕获图像的所述像素计数确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面。
11.根据权利要求10所述的方法，其中每一像素的所述特性是强度。
12.根据权利要求10所述的方法，其中每一像素的所述特性是对比度。
13.根据权利要求10所述的方法，其中每一像素的所述特性是条纹对比度。
14.根据权利要求10所述的方法，其中所述光学显微镜包含载物台，其中所述样本由所述载物台支撑，其中所述光学显微镜经调适以与计算机系统通信，且其中所述计算机系统包含经调适以存储每一经捕获图像的存储器装置。
15.根据权利要求10所述的方法，其中基于其中确定存在所述样本的表面的所述经预先确定的步骤而产生所述样本的三维图像。
16.根据权利要求10所述的方法，其中所述光学显微镜是共焦显微镜。
17.根据权利要求10所述的方法，其中所述光学显微镜是结构化照明显微镜。
18.根据权利要求10所述的方法，其中所述光学显微镜是干涉仪显微镜。
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