[发明专利]小型化波导成像光谱仪有效
| 申请号： | 201780056865.1 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110023727B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | M·马迪;E·阿尔贝蒂;I·邵鲁巴尔科 | 申请（专利权）人： | 米科斯工程有限公司;联邦材料测试与开发研究所 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/453 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;郑特强 |
| 地址： | 瑞士杜*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开的发明由波导光谱仪(1)组成，该波导光谱仪包括具有至少一个波导的至少一个基底层(10)，每个波导从部分通过基底层(10)的入口面(12)延伸到反射元件(13)，其中，多个光检测器(14)布置在基底层(10)的前侧(I)上，同时光检测器(14)电连接到应该轻量化并较容易制造的电读出系统。这通过将波导形成为表面波导(11、11′、11″、11″′)而实现，表面波导均具有位于入口面(12)与反射元件(13)之间朝向基底层(10)的前侧(I)的宽度为(D)的纵向开口(110)，同时光检测器(14、14′、14″、14″′)印刷分布在基底层(10)的顶部上的前侧(I)处，沿采样区域的总长度(ls)与表面波导(11)的纵向开口(110)至少部分地交叠，并且通过多个印刷电导体(15)实现光检测器(14、14′、14″、14″′)与电读出系统的电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 小型化 波导 成像 光谱仪 | ||
【主权项】：
1.波导光谱仪(1)，包括具有至少一个波导的至少一个基底层(10)，每个波导从部分通过所述基底层(10)的入口面(12)延伸到反射元件(13)，其中，多个光检测器(14)布置在所述基底层(10)的前侧(I)上，允许在所述光检测器(14)的位置处从每个波导外耦合隐失场，同时所述光检测器(14)能应用为隐失场采样器，所述隐失场采样器均电连接到电读出系统，其中，所述波导是表面波导(11、11′、11″、11″′)，均展现出位于所述入口面(12)与所述反射元件(13)之间朝向所述基底层(10)的前侧(I)的具有宽度(D)的纵向开口(110)，同时所述光检测器(14、14′、14″、14″′)印刷分布在所述基底层(10)的顶部上的前侧(I)处，沿着采样区域的总长度(ls)与所述表面波导(11)的纵向开口(110)至少部分地交叠，并且通过多个印刷的电导体(15)实现光检测器(14、14′、14″、14″′)与所述电读出系统的电连接。
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