[发明专利]具有背侧凹部的光学环形谐振器结构有效
| 申请号： | 201780054698.7 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN109690375B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 瑞安·默里·希基;迪伦·洛根;克里斯多夫·詹姆斯·布鲁克斯 | 申请（专利权）人： | 拉诺沃斯公司 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293;G02B6/12;H05B3/03;H05B3/16;H04B10/80 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 加拿大安大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种在装置上设置有背侧凹部的光学环形谐振器结构。该装置包括：基板，具有装置侧和与装置侧相对的背侧；光学环形谐振器，位于该基板的该装置侧；加热器，其形状与光学环形谐振器互补，加热器定位成用于加热光学环形谐振器；一条或多条金属走线，至少连接到加热器，该一条或多条金属走线构造成向加热器提供能量并从加热器向外延伸。该装置还包括在该基板背侧上的凹部，该凹部以该光学环形谐振器为中心，并且其直径分别大于该光学环形谐振器和该加热器的外径，该凹部进一步横向延伸进入该一条或多条金属走线的区域中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 背侧凹部 光学 环形 谐振器 结构 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：基板，所述基板具有装置侧和与装置侧相对的背侧；光学环形谐振器，所述光学环形谐振器位于所述基板的所述装置侧上；加热器，所述加热器的形状与所述光学环形谐振器互补，并且所述加热器定位成用于加热所述光学环形谐振器；一条或多条金属走线，所述一条或多条金属走线至少连接到所述加热器，并且构造成向所述加热器提供能量并从所述加热器向外延伸；和在所述基板的所述背侧上的凹部，所述凹部以所述光学环形谐振器为中心，并且其直径分别大于所述光学环形谐振器的外径和所述加热器的外径，所述凹部进一步横向地延伸到所述一条或多条金属走线的区域中。
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