[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、图案形成方法及电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201780052943.0 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109643063B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 二桥亘;古谷创;金子明弘;椿英明;平野修史 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种含有树脂和通过活性光线或放射线的照射产生酸的化合物的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。其中，上述树脂包含由下述通式(I‑1)表示的重复单元(a)和具有通过酸的作用包含单环的保护基脱离产生极性基的基团的重复单元(b)。式中，R |
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| 搜索关键词： | 感光 射线 放射 线性 树脂 组合 图案 形成 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有树脂和通过活性光线或放射线的照射产生酸的化合物，其中，树脂包含由下述通式(I‑1)表示的重复单元(a)和具有通过酸的作用包含单环的保护基脱离产生极性基的基团的重复单元(b)，![]()
式中，R11及R12分别独立地表示氢原子或烷基；R13表示氢原子或烷基、或者是单键或亚烷基，且与式中的L或Ar键合形成环；L表示单键或2价的连接基团；Ar表示芳香环；n表示2以上的整数。
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