[发明专利]微流体元件及其制造方法有效
申请号: | 201780049472.8 | 申请日: | 2017-04-10 |
公开(公告)号: | CN109641210B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 林菜承;南正训 | 申请(专利权)人: | 高丽大学校产学协力团 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种微流体元件及其制造方法,更具体而言,涉及一种微流体元件及其制造方法且所述微流体元件包括:一第一基板层;一第二基板层,形成在所述第一基板层的至少一表面;及多个换能器,形成在所述第一基板层的所述表面并内置于所述第二基板层内,其中所述换能器包括一导电微流体通道。本发明可以提供一种弹性波的微流体元件,其可以根据一微粒的属性来控制一弹性波,并且可以在无需高价的设备和复杂的工艺步骤的条件下进行制造。 | ||
搜索关键词: | 流体 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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