[发明专利]用于处理具有相干性的辐射束的装置和方法有效
| 申请号： | 201780048092.2 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109564395B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | S·A·戈登;N·潘迪;D·阿克布鲁特;T·W·图克;J·M·M·德维特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B6/42;G02B6/26 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于处理具有相干性的辐射束的装置和方法。在一种布置中，光学系统接收具有相干性的辐射束。辐射束包括分布在一个或多个辐射束空间模式之上的分量。波导支持多个波导空间模式。光学系统将属于共同辐射束空间模式并且具有不同频率的辐射束的多个分量引导到波导上，使得多个分量中的每个分量耦合到波导空间模式的不同集合，每个集合包括一个或多个波导空间模式。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 具有 相干性 辐射 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理具有相干性的辐射束的装置，包括：光学系统，被配置为接收具有相干性的辐射束，所述辐射束包括分布在一个或多个辐射束空间模式之上的分量；以及波导，被配置为支持多个波导空间模式，其中：所述光学系统被配置为将属于共同辐射束空间模式并且具有不同频率的所述辐射束的多个分量引导到所述波导上，使得所述多个分量中的每个分量耦合到所述波导空间模式的不同集合，每个集合包括所述波导空间模式中的一个或多个波导空间模式。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780048092.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：膜组件和颗粒捕集器
- 下一篇：具有用于模块组件的防撞装置的光学模块
