[发明专利]等离子体喷涂装置和方法

摘要

本申请公开了一种用于涂覆基板(S)的等离子体喷涂装置(1)，包括：至少一个工作腔室(3)，该工作腔室包括至少一个等离子体炬(21)和至少一个用于要涂覆基板(S)的基板支承件(26)，惰性气体或惰性气体混合物容纳在该工作腔室中，其压力接近或高于正常压力；至少一个气体回路(2)，该气体回路与所述工作腔室(3)连通，并包括包含在所述工作腔室(3)中的惰性气体的再循环装置(R)。该再循环装置(R)包括：闭合环路(L)，该闭合环路包括用于使气体再循环的鼓风机(17)和用于冷却气体的第一换热器(18)，该闭合环路与所述工作腔室(3)连通，适用于从所述工作腔室(3)中抽出惰性气体和将冷却惰性气体的第一部分送回所述工作腔室(3)的第一部分(3a)中；以及至少一个通路(P)，该通路与所述闭合环路(L)连通，并包括用于压缩气体的压缩机(19)和用于进一步冷却气体的第二换热器(20)，该通路适合将冷却惰性气体的第二部分供给至所述工作腔室(3)的第二部分(3b)中，并通过合适布置的管道(31a、31b)而指向基板(S)。

主权项

1.用于涂覆基板(S)的等离子体喷涂装置(1)，包括：至少一个工作腔室(3)，所述工作腔室包括至少一个等离子体炬(21)和至少一个用于要涂覆的基板(S)的基板支承件(26)，惰性气体或惰性气体混合物在接近或高于正常压力的压力下容纳在所述工作腔室中；以及至少一个气体回路(2)，所述气体回路与所述工作腔室(3)连通，并包括包含在所述工作腔室(3)中的惰性气体的再循环装置(R)，所述再循环装置(R)包括闭合环路(L)，所述闭合环路包括：用于冷却气体的第一换热器(18)，所述第一换热器与所述工作腔室(3)连通；以及再循环鼓风机(17)，所述再循环鼓风机布置在所述第一换热器(18)的上游，适合从所述工作腔室(3)中抽出惰性气体，并将冷却的惰性气体的第一部分往回供给至所述工作腔室(3)的第一部分(3a)中，其特征在于，所述再循环装置(R)包括至少一个通路(P)，所述通路与所述闭合环路(L)连通，并包括至少一个压缩机(19)和用于进一步冷却气体的第二换热器(20)，所述压缩机布置在所述第二换热器(20)的上游，适合将冷却的惰性气体的第二部分供给至所述工作腔室(3)的第二部分(3b)中，并通过适当布置的管道(31a、31b)而指向所述基板(S)。