[发明专利]衍射光学元件、光照射装置有效
| 申请号： | 201780044486.0 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN109477915B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 宫崎祐一;登山伸人;吉冈英范 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴秋明 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种光的利用效率高，且即使在光的入射角偏离的情况下，对衍射光的影响也小并能够稳定地获得希望的衍射光，进而衍射光的不均匀性少的衍射光学元件、光照射装置。衍射光学元件(10)是一种对光进行整形的衍射光学元件，具备衍射层(15)，所述衍射层(15)具有：高折射率部(11)，在剖面形状中多个凸部(11a)排列配置；和低折射率部(14)，折射率比高折射率部(11)低，且至少包括在凸部(11a)之间形成的凹部(12)，凸部(11a)在其侧面形状的至少一侧具有具备高度不同的多个台阶部(11a‑1、11a‑2、11a‑3、11a‑4)的多阶段形状，凸部11a的侧面形状至少在一部分具备向包括衍射层(15)的平面倾斜的倾斜部(11b、11c、11d)。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种对光进行整形的衍射光学元件，具备衍射层，所述衍射层具有：高折射率部，在剖面形状中多个凸部排列配置；和低折射率部，折射率比所述高折射率部低，且至少包括在所述凸部之间形成的凹部，所述凸部在其侧面形状的至少一侧具有多阶段形状，所述多阶段形状具备高度不同的多个台阶部，所述凸部的侧面形状至少在一部分具备相对于包括所述衍射层的平面倾斜的倾斜部。
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