[发明专利]用于实体自由成形制造的多腔室沉积设备有效
| 申请号： | 201780042213.2 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN109689251B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 特龙·福塞思;布雷德·维格达尔;阿尔内·拉姆斯兰;斯韦恩·斯泰因斯维克;约尔延·豪根 | 申请（专利权）人： | 挪威钛公司 |
| 主分类号： | B22F3/105 | 分类号： | B22F3/105 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 陈鹏;王博 |
| 地址： | 挪威赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种用于实体自由成形制造的腔室系统，该腔室系统具有沉积腔室、维修腔室和一个或多个装载/卸载腔室。该腔室系统允许更有效和成本有效的工艺来维修沉积设备、装载保持基板和卸载工件，而不需要调整沉积腔室中的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 实体 自由 成形 制造 多腔室 沉积 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于实体自由成形制造的腔室系统，包括：一个或多个独立控制的装载/卸载腔室；至少一个独立控制的沉积腔室，所述沉积腔室包括沉积设备和用于控制基材的位置和移动的致动器；以及一个或多个门，所述门使所述沉积腔室与一个或多个所述装载/卸载腔室中的每一个腔室连接。
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