[发明专利]用于实体自由成形制造的多腔室沉积设备

权利要求书

1.一种用于实体自由成形制造的腔室系统，包括：

一个或多个独立控制的装载/卸载腔室；

独立控制的沉积腔室，所述沉积腔室包括沉积设备和用于控制基材的位置和移动的致动器；

一个或多个门，所述门使所述沉积腔室与一个或多个所述装载/卸载腔室中的每一个腔室连接；以及

独立控制的维修腔室，连接到所述沉积腔室，所述维修腔室的尺寸设计成容纳所述沉积设备，所述维修腔室与所述沉积腔室、所述沉积设备以及到达所述沉积设备的送丝对齐，使得所述沉积设备能在不移除所述送丝的情况下移入和移出所述维修腔室。

2.根据权利要求1所述的腔室系统，其中，一个或多个所述装载/卸载腔室中的每一个腔室还包括：

一个或多个门，该门提供通向所述装载/卸载腔室的入口；

传送机，所述传送机位于所述装载/卸载腔室内部；以及

一个或多个通风口。

3.根据权利要求2所述的腔室系统，每个所述装载/卸载腔室包括位于所述装载/卸载腔室的上部的通风口和位于所述装载/卸载腔室的底部的通风口；

位于上部的所述通风口能操作地连接到真空泵和空气供应装置；并且

位于底部的所述通风口能操作地连接到真空泵和惰性气体源或惰性气体混合物源。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的腔室系统，所述腔室系统还包括两个所述装载/卸载腔室，在两个所述装载/卸载腔室之间具有共用的壁，并且其中，每个所述装载/卸载腔室还具有与所述沉积腔室共用的壁。

5.根据权利要求1所述的腔室系统，所述沉积腔室还包括位于所述沉积腔室的上部的一个或多个通风口和位于所述沉积腔室的底部的一个或多个通风口；

位于上部的一个或多个所述通风口能操作地连接到真空泵和空气供应装置；并且

位于底部的一个或多个所述通风口能操作地连接到真空泵和惰性气体源或惰性气体混合物源。

6.根据权利要求1所述的腔室系统，所述沉积腔室还包括一个或多个观察通道。

7.根据权利要求1所述的腔室系统，所述沉积腔室还包括再循环系统，所述再循环系统包括风扇和热交换器。

8.根据权利要求1所述的腔室系统，所述维修腔室还包括位于所述维修腔室的上部的一个或多个通风口和位于所述维修腔室的底部的一个或多个通风口；

位于上部的一个或多个所述通风口能操作地连接到真空泵和空气供应装置；

位于底部的一个或多个所述通风口能操作地连接到真空泵和惰性气体源或惰性气体混合物源。

9.根据权利要求1所述的腔室系统，所述维修腔室还包括入口通道。

10.根据权利要求1所述的腔室系统，所述维修腔室还包括一组手套。

11.一种操作用于实体自由成形制造的腔室系统的方法，所述方法包括：

用惰性环境独立地更换所述腔室系统的沉积腔室中的环境；

将第一保持基板转移到位于所述沉积腔室内部的致动器上，同时保持所述沉积腔室中的所述惰性环境；

执行实体自由成形制造以形成第一工件；以及

将所述第一工件移出所述沉积腔室，同时保持所述沉积腔室中的所述惰性环境，

其中，所述腔室系统包括沉积腔室、一个或多个装载/卸载腔室和维修腔室，所述维修腔室的尺寸设计成容纳沉积设备，并且所述维修腔室与所述沉积腔室、位于所述沉积腔室中的所述沉积设备以及到达所述沉积设备的送丝对齐，使得所述沉积设备能在不移除所述送丝的情况下移入和移出所述维修腔室。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述一个或多个装载/卸载腔室中的每个装载/卸载腔室和所述维修腔室通过一个或多个独立的开口与所述沉积腔室连通。