[发明专利]借助硬掩模涂层图案化石墨烯有效
| 申请号： | 201780037219.0 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109313189B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | D·潘;B·戈德史密斯 | 申请（专利权）人： | 卡蒂亚生物公司 |
| 主分类号： | G01N33/543 | 分类号： | G01N33/543;G01N27/414;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈炜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所公开技术的实施例包含使用光刻图案化技术图案化石墨烯薄片以用于生物传感器和电子应用。更具体地，本公开是针对借助硬掩模金属层图案化石墨烯薄片的方法。所述硬掩模金属层可以包含惰性金属，所述惰性金属可以在图案化工艺期间保护所述石墨烯薄片免受污染或损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 借助 硬掩模 涂层 图案 化石 | ||
【主权项】：
1.一种用于图案化石墨烯的方法，其包括：将石墨烯薄片放置在晶片上；在所述石墨烯薄片上沉积金属层；在所述金属层上沉积光致抗蚀剂层；以及在所述光致抗蚀剂层上蚀刻图案以暴露所述金属层。
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