[发明专利]检查辅助具及检查装置及探针

摘要

本发明提供一种检查辅助具及检查装置及探针，所述的检查辅助具(3)包括：电极(34a)；探针(Pr)，具有后端部(P2)及前端部(P1)；及支撑构件(31)，支撑探针(Pr)；探针(Pr)是包含：具有导电性的外侧筒状体(Pa)；及具有导电性的内侧筒状体(Pb)，所述内侧筒状体(Pb)是贯穿于外侧筒状体(Pa)的筒内；在外侧筒状体(Pa)形成有朝轴方向伸缩并且弹推后端部(P2)的外侧弹簧部(SO1、SO2)；在内侧筒状体(Pb)形成有朝轴方向伸缩的内侧弹簧部(SI1、SI2)；内侧筒状体(Pb)的一端为前端部(P1)，从外侧筒状体(Pa)的一端突出；支撑构件(31)是以通过外侧弹簧部(SO1、SO2)的弹推力使后端部(P2)接触电极(34a)的方式保持外侧筒状体(Pa)。

主权项

1.一种检查辅助具，是包括：电极，其是用于电性连接于检查处理部，所述检查处理部是用以电性检查成为检查对象的对象物；探针，其是大致棒状，具有接触所述电极的后端部及用以接触针对所述对象物设定的检查点的前端部；以及支撑构件，其是支撑所述探针；所述探针是包含：具有导电性的筒状的外侧筒状体；及具有导电性的筒状的内侧筒状体，所述内侧筒状体是贯穿于所述外侧筒状体的筒内；在所述外侧筒状体形成有外侧弹簧部，所述外侧弹簧部是朝所述外侧筒状体的轴方向伸缩并且弹推所述后端部；在所述内侧筒状体形成有内侧弹簧部，所述内侧弹簧部是朝所述内侧筒状体的轴方向伸缩；所述内侧筒状体的一端被设为所述前端部，所述前端部是从所述外侧筒状体的一端突出；所述支撑构件是以通过所述外侧弹簧部的弹推力使所述后端部接触所述电极的方式保持所述外侧筒状体。